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转一些别人的设计来看看~

光刻物镜设计(一)

光刻物镜设计(一)

我设计的光刻物镜

规格如下:

放大率:-1

视场:D50mm

波长:351nm

双远心光路

畸变:<1nm

分辨率:1um

OPD:<0.1waves(pv值)

相对照度:>99%

光学总长:<1500mm

光刻物镜设计(一)

光刻物镜设计(一)

 

 

光刻物镜设计(二)

一、设计规格

光学总长:960mm

物方视场:D88mm

NA:0.6

分辨率:0.3um

倍率:-0.25

结构:25G

波长:248nm

畸变:<30nm

二、光学结构

光刻物镜设计(二)

三、MTF

光刻物镜设计(二)

四、OPD

光刻物镜设计(二)

五、点列图

光刻物镜设计(二)

六、畸变

光刻物镜设计(二)

七、相对照度

光刻物镜设计(二)